사업영역

반도체용 케미컬

#PHOTO_RESIST #PROCESS_CHEMICAL #기능성세정액

동우화인켐은 오랜 기간 동안 축척된 Know-how와 더불어, 최첨단 설비 시스템을 통해 초고순도 케미컬을 자체 개발하여 제공합니다. 이는 바로, 반도체 산업을 선도하는 동우화인켐의 경쟁력입니다.

최상의 품질로 국내
반도체 산업 도약에 공헌
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제품 설명

초고순도의 케미컬로 오랜 기간 쌓아온 초극미량 분석 노하우와 최첨단 설비, 전품목 통계적 품질관리 시스템이 동우화인켐의 반도체용 케미컬이 가진 경쟁력입니다.

반도체용 케미컬 제품군

  • Photo Resist
  • Process chemical
  • 기능성세정액

Photo Resist
반도체 공정에서 자외선 빛을 이용하여 회로를 Wafer에 전사시킬 때 빛의 조사 여부에 따라 감응함으로써 미세회로 패턴을 형성할 수 있도록 하는 노광 공정용 감광재료입니다. 동우화인켐에서는 Nano-Level에서 고해상력을 요구하는 DRAM, Flash Memory, Logic Device 생산에 사용되는 Resist로 Metal, Implant, Critical Layer에 대응 가능한 품목으로서 각각의 Device Target에 부합하는 Novolak형인 g&i-Line Resist와 반도체의 최소 선폭을 더욱 미세화하기 위한 KrF, ArF Resist를 생산, 공급하고 있습니다.

Process chemica
업계에서 품질의 우수성을 인정한 고순도 케미컬로서 고객이 요구하는 스펙에 부합하는 다양한 품목을 개발하고 있습니다.

기능성세정액
반도체 Wafer 표면의 오염물질을 제거하는 케미컬입니다. 반도체 제조공정에 발생되는 표면의 오염은 Device의 신뢰성, 수율에 직접적인 영향을 미치기 때문에 유기물, 금속 불순물, Particle 등의 제거와 기능성 세정제의 필요성이 중요한 과제로 부각되고 있습니다. 동우화인켐은 오염제거 효과가 우수한 반도체용 케미컬 Cleaning Solution인 Remover/Cleaner/Etchant 등을 개발,생산하고 있습니다.

Display용 케미컬

#ETCHANT #COLOR RESIST #STRIPPER

동우화인켐은 축척된 Know-how와, 결코 만족하지 않는 기술 혁신 및 연구 개발을 통해
선명하고 깨끗한 Display 구현에 반드시 필요한 고순도, 고감도의 케미컬을 생산, 공급하고 있습니다.

‘흔들리지 않는 신뢰’는,
‘만족하지 않는 기술 혁신’
으로부터 비롯됩니다
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제품 설명

고객님이 보고 계신 모니터 - 선명하고 깨끗한 화질의
Display가 보이십니까?축적된 노하우와 지속적인 연구를 통해 차별화된 Display용 케미컬 제품을 생산하고 있습니다.

Display용 케미컬 제품군

  • Etchant
  • Color Resist
  • Stripper

Etchant
TFT Array의 구성 요소인 금속 배선의 패터닝 형성을 위하여 화학적 식각을 목적으로 하는 Etchant는 Substrate, Photo Resist 및 다른 Layer에 손상을 주지 않아야 하며 미세패턴화, 적층성 향상을 위한 Etch Rate 및 Taper Angle 제어가 중요합니다. 또한, 대형화된 Substrate Etching unifirmity를 유지하고, 제조공정에서 높은 마진률과 생산성 향상을 만족하는 Etchant의 특성을 확보하고 있습니다.

Color Resist
컬러필터에 사용되는 Color Resist는 RGB(Red, Green, Blue)3색으로 구성되며 Full Color를 구현하는 고분자 유기물입니다.
동우화인켐 High Contrast 제품 및 고투과, 높은 신뢰성, 고감도의 우수한 Color Resist를 공급하고 있습니다.

Stripper
노광공정 후 잔류하고 있는 Photo Resist를 제거하는 프로세스 케미컬입니다.
잔류하고 있는 Photo Resist를 빠르게 제거하며 높은 Photo Resist 용해도, 세정 후 이물 잔류 방지 및 금속 배선의 부식을 방지합니다.

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